Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах Коллектив авторов

Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах скачать fb2

Фрагмент книги

0 скачали
0 прочитали
0 впечатлений






Коллектив авторов - Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах краткое содержание

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.





Доступен ознакомительный фрагмент

Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться

Другие книги авторавсе книги
Административное право
Административное право
Административное право
Административное право
Административное право Российской Федерации
Административное право Российской Ф...
Административное право Российской Федерации
Административное право Российской Ф...
Другие книги жанраФизика
Астрономия на пальцах.
Астрономия на пальцах.
Астрономия за 1 час
Астрономия за 1 час
Лиза Мейтнер. Расщепление ядра
Лиза Мейтнер. Расщепление ядра
Параллельные миры: Об устройстве мироздания, высших измерениях и будущем космоса
Параллельные миры: Об устройстве ми...

Для правообладателей и по всем вопросам knigism.info@yandex.ru