В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
| Автор | Коллектив авторов |
| Автор | Коллектив авторов |
| Автор | Коллектив авторов |
| Автор | Коллектив авторов |
| Автор | Группа авторов |
| Автор | Группа авторов |
