Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
| Автор | Stefan Landis |
| Автор | Группа авторов |
| Автор | Группа авторов |
