Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением Л. А. Сейдман

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением скачать fb2

Фрагмент книги

0 скачали
0 прочитали
0 впечатлений






Л. А. Сейдман - Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением краткое содержание

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.





Доступен ознакомительный фрагмент

Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться

Другие книги авторавсе книги
Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей
Плазменная химико-термическая обраб...
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Ионно-плазменные процессы в тонкопл...
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Индуктивные источники высокоплотной...
Упрочнение стальных деталей плазмохимической обработкой
Упрочнение стальных деталей плазмох...
Другие книги жанраТехническая литература
2D Monoelements
2D Monoelements
3D Printing for Energy Applications
3D Printing for Energy Applications

Для правообладателей и по всем вопросам knigism.info@yandex.ru