Л. А. Сейдман - Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии краткое содержание
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Читать книгу онлайн Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии - автор Л. А. Сейдман или скачать бесплатно и без регистрации в формате fb2. Роман написан в году, в жанре . Читаемые, полные версии книг, без сокращений, на сайте - библиотека бесплатных книг Knigism.online. Вы можете скачать издание полностью и открыть в любой читалке, на свой телефон или айфон, а также читать произведение без интернета.
Доступен ознакомительный фрагмент
Чтобы оставить свою оценку и/или комментарий, Вам нужно войти под своей учетной записью или зарегистрироваться
Книга представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих технологических процессов, теоретические основы и методы их проведения. Детально проанализированы виды оборудования и принципы его конструирования для достижения высокой производительности, воспроизводимости и однородности обработки. Описаны варианты плазменной химико-термической обработки, отличающиеся...
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого...
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие...
Предложены теоретические основы и раскрыты методы плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. Представлены виды необходимого оборудования и принципы его конструирования для достижения высокой производительности, воспроизводимости и однородности обработки. Рассмотрены варианты плазменной химико-термической обработки деталей, показаны перспективы развития данной технологии. Для специалистов, занимающихся совершенствованием технологии изготовления и упрочнения стальных...
2D Monoelements: Properties and Applications explores the challenges, research progress and future developments of the basic idea of two-dimensional monoelements, classifications, and application in field-effect transistors for sensing and biosensing. The thematic topics include investigations such as: Recent advances in phosphorene The diverse properties of two-dimensional antimonene, of graphene and its derivatives The molecular docking simulation study used to analyze the binding...
Explore current and future perspectives of 3D printing for the fabrication of high value-added complex devices 3D Printing for Energy Applications delivers an insightful and cutting-edge exploration of the applications of 3D printing to the fabrication of complex devices in the energy sector. The book covers aspects related to additive manufacturing of functional materials with applicability in the energy sector. It reviews both the technology of printable materials and 3D printing...
